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日本三豐超高精度二次元影像测量仪

三丰超高精影像测量仪-ULTRA QV404系列

ULTRA QV404 是实现了世界顶级测量精度E1XY=(0.25+L/1000)μm 的超高精度CNC 影像测量系统。 为了将直线度误差控制至最小,X、Y、Z3轴移动方式采用了高精度三坐標等使用的空气轴承。 通过FEM (有限要素法) 解析后的最佳设计实现了本体的高刚性化。 作为基准的测长方式采用了分辨力为0.01μm的光学式線性編碼器。该编码器的线性膨胀系数为零,将温度变化产生的误差控制到最小限度。

規格:

 

ULTRA QV 404

測量範圍 (X×Y×Z)

400×400×200mm

放大倍率轉換系統

PPT1X-2X-6X

分辨力

0.01 μm

長度測量裝置

線性編碼器

影像測量方法

CCD 照相機

測量精度*1 *2

E1X, E1Y

(0.25+L/1000)μm

E1Z

(1.5+2L/1000)  μm  (測量範圍:  200mm) (1.0+2L/1000) μm (測量範圍: 10 - 60mm)

E2XY

(0.5+2L/1000)μm

LAF重複精度*3

σ= 0.4μm

照明裝置 *4

同軸照明/ 透射照明/ 程控環形照明

工作台玻璃尺寸

493×551mm

台面最大承重 *5

40kg

尺寸 (W×D×H)

1172×1735×1910mm

重量 (  包括機器設置台 )

約 2150kg

*1 L = 任意2 点之间的尺寸(mm) 。

*2 依據三豐公司的檢查方法。

*3 僅限于帶LAF 的機型。

*4 冷光源照明用鹵素燈泡和光纖。

*5 不包括極端的載重、集中載重。

 

 

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